油页岩横截面 

• 目标：利用高质量大样品制备，研究SEM样品

• 样品尺寸：Ø 25 mm, 厚度12 mm

• 流程描述（样品基准价值）：使用徕卡EM TXP进行机械预制备：使用强力胶将样品粘附在标准SEM样品座上。将样品座夹到徕卡EM TXP的固定器上，执行离子束研磨前预制备。

 

本次机械预制备中，首先使用9 μm金刚石抛光片，然后使用2 μm，最后使用0.5 μm的金刚石抛光片。整个制备过程用时1.5小时。完成TXP处理后，使用剃须刀片将样品从样品座移除，然后固定在徕卡EM TIC 3X旋转载物台的样品架上。

 

本制备过程可验证能否使用EMTIC 3X旋转载物台对大样品（约25 mm）进行离子束抛光制备。

 

离子束（平面）研磨：

TIC 3X旋转载物台

加速电压	7 kV
离子源电流	3 mA
研磨时间	40 min
旋转速度	~40 rpm
横向移动	+/- 10 mm

 

使用台式SEM获取下述图像。结果证明无法获得高质量的图像。下述图像证明离子束对油页岩样品的中心和25 mm处的边缘区域产生了影响。相比机械抛光，它改善了高放大倍数图像的质量。

 

图1：中心：使用徕卡EMTXP

（0.5 µm金刚石处理）制备后