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透射电镜下看到的原子像的物理意义是什么? 

发布时间:2017/09/22
透射电镜下看到的原子像的物理意义是什么?

Part 1: Transmission Electron Microscope (TEM)

所谓TEM,就是一个放大镜叠加了一台照相机。这台放大镜的放大倍数比较高,可高达一百万倍。那么,TEM的分辨率有多高呢?答案是 it depends。一般来说,TEM的分辨率要在1到2个纳米,STEM更高,但是STEM得成像技术类似于SEM。我们知道,宏观尺度上成像靠的是可见光,可见光在此的表现的是电磁波,波长范围在390nm到720nm,远比任何宏观尺度小得多,根据瑞丽准则(Rayleigh criterion),可见光的分辨率极限大概在200nm左右。

 

第一台TEM构建于1931年,这可能是量子力学成立以来的首个对量子力学原理的直接人工利用。德布罗意1924年提出的波粒二象性,而仅仅不到十年,就把电子作为波来看待的观念就已经应用了起来。运动的电子波长极短,在10-10m这个数量级,所以用电子波作为光源所能达到的分辨率。

 

 

然而实际上,形成原子的像是极其困难的,究其原因,是因为TEM里面的物镜太难以达到完美。光学透镜,经过三四百年的发展,制造出来的产品已经接近完美,然后TEM里面的磁透镜,有一个很好的比喻来说明它的质量:通过磁透镜看物体就好比拿起塑料可乐瓶的瓶底去看人。

 

 

Part 2: 球差

不完美透镜导致的直接结果就是引入了让显微学者头疼的球差。电子的聚焦是靠洛伦兹力来实现的,在洛伦兹力的作用下,电子以旋进的方式聚焦。在TEM里有一条光轴,就和光学显微镜中的光轴一样,偏离光轴时,透镜对光的聚焦能力和靠近光轴的聚焦能力是不同的。当然了,原则上是希望穿过透镜的光都能聚焦到焦点上。这点,在光学显微镜里面算是做到了较优。

 

 

简单的说就是磁透镜在聚焦偏离光轴的电子时聚焦的太厉害了,导致偏离光轴的电子束提前在光轴上完成聚焦,也就是说实际聚焦点在光轴上面连成了一条线,当这些聚焦的电子束在散开去像平面成像的时候,本来应该是一个很小的斑,此时变成了一个很大的斑。无论是在TEM还是在SEM中,追求更小的聚光斑是永恒的目标。尤其是在STEM中,试想,要形成原子像,总不会希望用一个比原子大的斑去照原子吧?两个原子之间的距离大概0.25nm,一个斑就0.8nm,那么在不考虑衍射的情况下,相邻的两个斑都会重合了,更不要说加上衍射了。

 

比较值得一提的电镜现在已经可以校正球差了,有些是单球差校正,有些是双球差校正,如下图所示,那个插满红黄蓝绿管子的方形盒子就是球差校正器。

 

Part 3: 质厚衬度和 Z 衬度

大多数情况下,我们所用TEM的称度就是质厚称度。直观上,质量大的东西,厚度厚的地方,阻碍电子的能力就比较强,从而形成称度。基于此,向原子方面想,原子序数大的,由于核外电子比较多,所以对入射电子的散射也会比较强,这个就是所谓的Z称度,STEM基于此就可以实现了单原子的成像,这个是真正的原子像,更本质的说,应该是原子的统计学成像,因为我们知道,真正的原子是不停的振动着的,STEM无法分辨晶格振动,所以成像所看到的是原子位置的期望值。早些时候,TEM 和STEM 是分开的,随着技术的发展,TEM和STEM也集成在了一起。全新的TEM,连用于观察低倍成像时用的荧光屏都省略了,直接用CCD在电脑上成像。

 

Part 4: 晶格像和相位衬度

一般用的TEM mode就是明暗场像,由于球差的作用很强,而且如果要形成真正意义上的原子像的话,色差,像散以至于慧差,在5个埃左右会严重减弱分辨率,所以通常的TEM是无法形成原子像的。

 

但是当放大倍数到达一定程度的时候,图像会出现相位称度。所谓相位衬度,就是电子波在经过样品的时候相位产生了调制,相位称度其实本质上是由衍射引起的,严格意义上,相位称度和衍射称度是一样的,所以在形成高分辨像的时候要避免用物镜光阑。

 

一般在TEM成像分析当中会采用所谓的双光速近似,一个是透射束,一个是衍射束。说实话,这个双光束近似是一个非常非常粗糙的近似,需要满足非常多的条件的时候才可能发生:(1)样品必须是一个比较完美的晶体,没有内应力。(2)入射角度需要非常精细的等于晶体某个晶面的布拉格角。(3)样品和光源要无限大。在TEM的电子衍射中,实际可以产生非常多的衍射斑,需要应用Ewald Sphere去分析衍射的。这种多衍射斑产生的原因是由于入射的电子束是一个近似的圆斑,当一个有形状的光源照到晶体上时,在倒易空间里,倒易空间的点的形状就是入射光束形状的傅里叶变换(由于电子枪tip本身的曲率不完美,所以聚焦形成的斑不会是一个圆斑,三维上也就不是一个球,而是一个棒子形状的椭球,所以倒易空间点的形状也是一个棒子),这就导致倒易空间的点是一个有形状的斑,Ewald Sphere与这些斑相交的时候就都会产生衍射。

 

 

但是双光束近似的确可以告诉我们相位称度的来源。本质上就是衍射光和透射光产生了干涉,注意,在TEM里面,入射的电子是收到样品晶格周期势的调控的。基本的作用就表现为bloch wave,而bloch wave是一个对样品周期十分敏感的量,沿样品不同方向传播的电子波,就会感受到不同的周期势,从而当电子束从样品底端出来之后,不同点的透射波的相位是不一样的

 

 

在这种干涉的条件下,晶体的周期性性质就可以通过对电子波的相位的调制表现出来的,从而可以看到高分辨的晶格像。

 

 

相位衬度是一个非常精细的量,所以在应用中会发现相位反转是一个很正常的现象。热飘,样品杆震动,移动样品台,以及样品本身厚度的不均匀都会使得相位发生变化。比较有意思的是,当样品的厚度有变化的时候,会出现所谓的等倾干涉,表现在图像上就是明暗相间的条纹。

 

关于倒易空间中在3D情况下,点的形状和样品以及光源的关系。

 

正空间和倒易空间就是傅里叶变换的关系,由于点阵的离散性以及空间平移对称性,由正空间生成倒易空间的过程是傅里叶变换和卷积的作用。在卷积里面,倒易空间中点的几何形态是由正空间中整个样品的形态决定的。TEM里面比较有意思的是,样品的尺寸远远大于光源的尺寸,那么对于电子而言,整个样品的形态就是电子源照到的那个形态,所以倒易空间的点的形状是由光源决定的,而不是由样品本身决定的。(当然了,这段描述指向传统材料,不指向QD, CNT, NW。)