Leica EM ACE600高真空镀膜仪
发布时间：2017/06/13
Leica EMA CE600是一款高真空镀膜仪，真空泵采用隔膜泵和涡轮分子泵，无油真空系统，真空度可达2×10-6mbar。镀膜细腻均匀。内置石英膜厚检测器，可控制镀膜厚度。全自动电脑控制，自动完成抽真空，镀膜，放气等全过程，一键操作。采用触摸屏控制，简单方便。设计来根据您的FE-SEM和TEM应用的需要生产非常薄的，细粒度的和导电的金属和碳涂层，用于高分辨率分析。仪器可选离子溅射镀金属膜，满足高分辨场发射扫描电镜（FE-SEM）需求。可选碳丝蒸发镀碳膜，用于X-射线能谱及波谱分析，或者TEM铜网镀碳膜。还可以选择电子束蒸发方式镀膜，获得其细腻的金属膜与碳膜，可用于DNA投影等特殊用途。
主要技术参数
• 可任选离子溅射模式，碳丝蒸发镀碳模式，碳棒（热阻）蒸发模式，电子束蒸发模式，双溅射模式，溅射-碳丝模式，溅射-碳棒模式，溅射-电子束模式，双电子束模式，可兼容EMVCT500冷冻传输系统，可选辉光放电（用于网格表面亲水化）
• 设计脉冲式碳丝蒸发方式，可控制碳膜厚度
• 内置石英膜厚检测器，控制镀膜厚度，精度达0.1nm
• 全自动程序控制，自动完成抽真空，镀膜，放气等过程
• 触摸屏控制，简单方便
• 采用隔膜泵+涡轮分子泵，无油真空系统，真空度≤2×10-6mbar
• 溅射电流：0-150mA可调
• 方形样品仓设计，样品仓尺寸：200mm（宽）×150mm（深）×195mm（高）
• 样品台内置旋转，工作距离调节范围：30mm-100mm