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Leica EM RES102多功能离子减薄仪 

发布时间:2017/06/13
Leica EM RES102多功能离子减薄仪

      Leica EMRES102多功能离子减薄仪通过离子枪激发获得离子束,以一定入射角度对样品进行轰击,以去除样品表面原子,从而实现对样品的离子束加工。
   Leica EMRES102主要功能为:对无机薄片样品进行离子减薄,使得薄片样品可被透射电子穿过,从而适宜TEM透射电子显微镜观察;对无机块状样品进行离子束抛光、离子束刻蚀,样品表面离子清洗及斜坡切割,便于SEM扫描电子显微镜观察样品内部结构信息。离子束研磨系统结合了在一个单工作台面单元上制备TEM、SEM和LM样品的特点。各种样品架可以进行多元化应用。除了高能量的离子铣工艺,徕卡EM RES102也可适于采用低离子能量处理非常柔软的样本。
 
 
主要技术参数
  •  具有2把离子枪,离子束能量为0.8keV-10keV,相对位置,可分别±45°倾斜,样品台倾斜角度-120°至210°,离子束加工角度0°至90°,样品平面摆动角度<360°,垂直摆动距离±5mm。实际操作参数根据具体应用需要选择(系统备有参考参数,也可自行设置参数并存储)
  •  可选配样品台:TEM样品台(?3.0mm或?2.3mm),FIB样品清洗台,SEM样品台,斜坡切割样品台(对样品35°或90°斜坡切割)等
  •  SEM样品台可容纳较大样品尺寸:直径25mm,高度12mm
  •  全无油真空系统,样品室带有预抽室,保证样品交换时间<1分钟
  •  全电脑控制,触摸屏操作界面,内置视频观察系统,可实时观察样品处理过程